贵金属溅射靶材的研究进展

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机械工程材料 ›› 2021, Vol. 45 ›› Issue (8) : 8-14,102. DOI: 10.11973/jxgccl202108002

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综述

贵金属溅射靶材的研究进展

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Research Progress on Precious Metal Sputtering Target

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