热处理对钛掺杂类金刚石薄膜场发射性能的影响

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机械工程材料 ›› 2021, Vol. 45 ›› Issue (1) : 8-13. DOI: 10.11973/jxgccl202101002

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Effect of Heat Treatment on Field Emission Properties of Ti-Doped Diamond-like Carbon Film

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