脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜结构和性能的影响

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机械工程材料 ›› 2017, Vol. 41 ›› Issue (1) : 56-60,64. DOI: 10.11973/jxgccl201701012

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Effects of Pulsed Negative Bias Amplitudes on Structure and Properties of TiCN Film Prepared by Compound Ion Plating Technology

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