钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势
陈艳芳, 谢敬佩, 王爱琴, 马窦琴, 杨康, 郭惠丹
Research status and development trend of molybdenum and molybdenum alloy sputtering target materials
CHEN Yan-fang, XIE Jing-pei, WANG Ai-qin, MA Dou-qin, YANG Kang, GUO Hui-dan
粉末冶金技术
.
2018, (5): 393
-398
.
DOI: 10.19591/j.cnki.cn11-1974/tf.2018.05.013
