钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势

陈艳芳, 谢敬佩, 王爱琴, 马窦琴, 杨康, 郭惠丹

粉末冶金技术 ›› 2018, Vol. 36 ›› Issue (5) : 393-398.

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粉末冶金技术 ›› 2018, Vol. 36 ›› Issue (5) : 393-398. DOI: 10.19591/j.cnki.cn11-1974/tf.2018.05.013
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钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势

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Research status and development trend of molybdenum and molybdenum alloy sputtering target materials

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