用于光学玻璃CMP的高效稀土抛光液研究

王也, 张保国, 吴鹏飞, 谢孟晨, 李烨, 李浩然

润滑与密封 ›› 2023, Vol. 48 ›› Issue (5) : 79-84.

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润滑与密封 ›› 2023, Vol. 48 ›› Issue (5) : 79-84. DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2023.05.012
试验研究

用于光学玻璃CMP的高效稀土抛光液研究

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Research on High-Efficiency Rare Earth Polishing Slurry for CMP of Optical Glass

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