超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研制

苑晓策, 李庆忠, 杨思远

润滑与密封 ›› 2021, Vol. 46 ›› Issue (11) : 103-108.

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润滑与密封 ›› 2021, Vol. 46 ›› Issue (11) : 103-108. DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2021.11.016
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超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研制

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Development of Polishing Slurry for Fine Ultrasonic Atomization Polishing of Quartz Glass

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