磷化铟的动态磁场集群磁流变抛光工艺实验

孙世孔, 路家斌, 阎秋生

润滑与密封 ›› 2021, Vol. 46 ›› Issue (11) : 40-45.

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润滑与密封 ›› 2021, Vol. 46 ›› Issue (11) : 40-45. DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2021.11.007
试验研究

磷化铟的动态磁场集群磁流变抛光工艺实验

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Technological Experiment of Cluster Magnetorheological Finishing of InP Wafer with Dynamic Magnetic Fields

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