基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测

基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测

余石龙, 鲍劲松, 李婕, 张启华

Wafer Manufacturing Data Anomaly Detection Based on Error Attention

YU Shilong, BAO Jinsong, LI Jie, ZHANG Qihua

中国机械工程 . 2020, (14): 1686 -1692 . DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.14.007