原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势

房丰洲

On Atomic and Close-to-atomic Scale Manufacturing——Development Trend of Manufacturing Technology

FANG Fengzhou

中国机械工程 . 2020, (9): 1009 -1021 . DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.09.001