贵金属溅射靶材的研究进展

许彦亭, 郭俊梅, 王传军, 沈月, 管伟明, 闻明

Research Progress on Precious Metal Sputtering Target

XU Yanting, GUO Junmei, WANG Chuanjun, SHEN Yue, GUAN Weiming, WEN Ming

机械工程材料 . 2021, (8): 8 -14,102 . DOI: 10.11973/jxgccl202108002