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ISSN 1674-5949 CN 31-2023/U
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Enhanced ablation efficiency for silicon by femtosecond laser microprocessing with GHz bursts in MHz bursts(BiBurst)
Francesc Caballero-Lucas, Kotaro Obata, Koji Sugioka
Enhanced ablation efficiency for silicon by femtosecond laser microprocessing with GHz bursts in MHz bursts(BiBurst)
Francesc Caballero-Lucas, Kotaro Obata, Koji Sugioka
极端制造（英文版） . 2022, (
1
): 15103 -015103 . DOI: 10.1088/2631-7990/ac466e
