基于方箱的气浮工作台控制系统稳定性分析

朱思达, 卢志伟, 刘波, 张君安

The stability analysis of control system of aerostatic worktable based on square box

ZHU Sida, LU Zhiwei, LIU Bo, ZHANG Junan

制造技术与机床 . 2022, (8): 178 -184 . DOI: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2022.08.027