基于混合式特征选择模型的晶圆允收测试关键参数识别方法
吕佑龙, 许鸿伟, 郑城, 张洁, 郑鹏
Wafer Acceptance Test Key Parameter Identification Based on Hybrid Feature Selection Method
LYU Youlong, XU Hongwei, ZHENG Cheng, ZHANG Jie, ZHENG Peng
中国机械工程
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2020, (16): 1978
-1984,1997
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DOI: 10.3969/j.issn.1004132X.2020.16.010 开放科学(资源服务)标识码(OSID)：
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