织构化硅片表面的粘着行为

织构化硅片表面的粘着行为

刘舒鹏，王晓力，司丽娜，张玉言

Adhesive Properties of Textured Silicon Surfaces

LIU Shupeng, WANG Xiaoli, SI Lina, ZHANG Yuyan

中国表面工程 . 2015, (1): 83 -89 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.013