疏水性安全壳壁面的硅表面微孔结构制备

赵维，樊焕然，杨林，杜王芳

Fabrication of Porous Microstructures on Si for Hydrophobic Containment Vessel Surface

ZHAO Wei, FAN Huanran, YANG Lin, DU Wangfang

中国表面工程 . 2015, (3): 90 -95 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.03.014