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ISSN 1674-5949 CN 31-2023/U
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细长管内表面镀Cu过程中的空心阴极辉光电
高凯晨,刘仕远,巩春志,田修波
Glow Discharge of Hollow Cathode During Cu Plating on Thin Tube Surface
GAO Kaichen, LIU Shiyuan, GONG Chunzhi, TIAN Xiubo
中国表面工程 . 2022, (
5
): 264 -271 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210929001