PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

刘万锁，岳向吉，蔺增

Analysis of Microchannel Structure on Jet Uniformity of PECVD Showerhead

LIU Wansuo, YUE Xiangji, LIN Zeng

中国表面工程 . 2023, (5): 222 -233 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20221202001