硅片传输机器人手臂结构优化设计方法

硅片传输机器人手臂结构优化设计方法

刘延杰,吴明月,王刚,蔡鹤皋

Method for Structural Optimization Design of Wafer Handling Robot Arms

LIU Yanjie,WU Mingyue,WANG Gang,CAI Hegao

机械工程学报 . 2015, (1): 1 -9 . DOI: 10.3901/JME.2015.01.001