铌酸锂原子级抛光缺陷形貌演化机理研究

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机械工程学报 ›› 2025, Vol. 61 ›› Issue (13) : 474-482. DOI: 10.3901/JME.2025.13.474

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铌酸锂原子级抛光缺陷形貌演化机理研究

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Study on the Evolution Mechanism of Defects Morphology in Atomic Scale Polishing of LiNbO₃

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