超精密气浮关键技术及发展趋势

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机械工程学报 ›› 2025, Vol. 61 ›› Issue (5) : 1-12. DOI: 10.3901/JME.2025.05.001

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超精密气浮关键技术及发展趋势

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Key Technology and Developing Trend of Ultra-precision Aerostatic Bearing

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