微晶玻璃超精密磨削的表面/亚表面损伤及其材料去除机理研究*

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机械工程学报 ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (7) : 180-188. DOI: 10.3901/JME.2017.07.180

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微晶玻璃超精密磨削的表面/亚表面损伤及其材料去除机理研究^*

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Surface/Subsurface Damage and Material Removal Mechanism of Glass-ceramics Induced by Ultra-precision Grinding

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