基于广义PI逆模型的超精密定位平台复合控制

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机械工程学报 ›› 2015, Vol. 51 ›› Issue (2) : 198-206. DOI: 10.3901/JME.2015.02.198

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Compounding Control of Ultra-precision Positioning Stage Based on Inverse Generalized PI Model

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2015, 51(2): 198-206 https://doi.org/10.3901/JME.2015.02.198

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2015, 51(2): 198-206 https://doi.org/10.3901/JME.2015.02.198

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