基于数字孪生的光学位移台交互控制系统
徐哲, 孙树峰, 张兴波, 王茜, 张丰云, 王萍萍, 谢章伟, 张羽, 刘纪新, 孙维丽, 曹爱霞
Interactive control system of optical displacement stage based on digital twin
XU Zhe, SUN Shufeng, ZHANG Xingbo, WANG Qian, ZHANG Fengyun, WANG Pingping, XIE Zhangwei, ZHANG Yu, LIU Jixin, SUN Weili, CAO Aixia
工程设计学报
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2023, (2): 254
-261
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DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2023.00.024
